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真空常用名词术语

1、真空的定义

2、真空度

3、真空度单位

4、托与帕的转换

5、平均自由程



6、流量

7、流导

8、压力或压强

9、标准大气压

10、极限真空



11、抽气速率

12、热偶真空计

13、电离真空计

14、复合真空计

15、冷阴极电离计



16、电阻真空计

17、麦克劳真空计

18、B－A规

19、水环真空泵

20、往复真空泵



21、油封机械真空泵

22、罗茨真空泵

23、涡轮分子真空泵

24、油扩散真空泵

25、低温真空泵



26、冷某某

27、气镇阀

28、真空冷冻干燥

29、真空蒸镀

30、真空干燥



　　1、真空的定义

　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

　　2、真空度

　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

　　3、真空度单位

　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。

　　1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

　　4、托与帕的转换

　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

　　5、平均自由程

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

　　6、流量

　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

　　7、流导

　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 　　U＝Q/(P2- P1)

　　8、压力或压强

　　气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

　　9、标准大气压

　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

　　10、极限真空

　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

　　11、抽气速率

　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

　　12、热偶真空计

　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）

　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

　　14、复合真空计

　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。

　　15、冷阴极电离计

　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。

　　16、电阻真空计

　　利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。

　　17、麦克劳真空计（压缩式真空计）

　　将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。

　　18、B－A规

　　这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。 内容过长，仅展示头部和尾部部分文字预览，全文请查看图片预览。 下沸点低的特点来干燥物品的方法。

　　31、真空系统常用名称

　　(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

　　(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

　　(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

　　(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。





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