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学号：

专业综合设计报告

得分：





课程名称： 微机电系统设计与实践

姓 名：

班 级：

完成日期：

西北工业大学

微机电系统工程专业

微机电系统设计与实践报告

（报告格式和内容规范性是课程分数的一部分，希望大家认真对待）

微加速度计介绍

介绍微加速度计的用途和工作原理，描述设计的微加速度计结构方案。

微加速度计版 内容过长，仅展示头部和尾部部分文字预览，全文请查看图片预览。 如何建模（导入），如何材料选取，如何划分网格，如何设置物理边界条件和约束，如何调用结果等；

以图文形式展示加速度计前4阶的振型和频率，给出工作频率与非工作频率最小差值；

手动划分网格，扫掠不同网格尺寸下的工作频率，使其收敛性误差小于1Hz。

谐响应分析

简要描述COMSOL实现谐响应仿真过程，包括：如何建模（导入），如何材料选取，如何划分网格，如何设置物理边界条件和约束，如何调用结果等；

绘制加速度计的谐响应曲线（品质因数设为1000，谐振点处最大位移0.1μm）。

课程总结

总结在MEMS传感器设计和仿真方面遇到的问题，谈谈在课程学习中的收获。

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